Материалы и элементы электронной техники. Расчет режимов термического окисления и диффузии при формировании легированных слоев
Автор:Владимир Астахов
» Все книги этого автора
Описание книги
В практикуме рассматриваются принципы расчета режимов термического окисления, обеспечивающего заданную толщину маскирующей оксидной пленки, и режимов диффузии при формировании легированных слоев с заданными параметрами для кремниевых приборных структур. Излагается методика расчетов в программе Math Cad 2001.
Тип:PDF Книга
Цена:120.00 руб.
Язык: Русский
Просмотры: 145
Скачать ознакомительный фрагмент
ЧТО КАЧАТЬ и КАК ЧИТАТЬ
КУПИТЬ И СКАЧАТЬ ЗА: 120.00 руб.