Компьютерное моделирование нанотехнологий, наноматериалов и наноструктур. Математическое моделирование фотолитографических процессов и процессов электронной литографии при создании субмикронных структур и структур с нанометровыми размерами
Автор:Сергей Юрчук
» Все книги этого автора
Описание книги
Курс лекций описывает основные математические модели фотолитографии и электронной литографии, используемых при создании субмикронных структур. Приведены модели отдельных процессов фотолитографии: формирование изображения в фоторезисте, экспонирование, травление фоторезиста. Показаны ограничения, которые накладываются на процесс фотолитографии. Приведена теория электронной эмиссии, используемая для моделирования формирования электронного пучка. Описан эффект близости, который вносит ограничения в точность формирования изображения при электронной литографии. Показаны способы коррекции эффекта близости. Предназначен для студентов, обучающихся в магистратуре по направлению 210100 «Электроника и наноэлектроника».
Тип:PDF Книга
Цена:160.00 руб.
Язык: Русский
Просмотры: 110
Скачать ознакомительный фрагмент
ЧТО КАЧАТЬ и КАК ЧИТАТЬ
КУПИТЬ И СКАЧАТЬ ЗА: 160.00 руб.