Взаимодействие лазерных, электронных и ионных пучков с поверхностью твердых тел. Часть 3. Взаимодействие ионных пучков с поверхностью твердых тел
Автор:Анатолий Вяткин
» Все книги этого автора
Описание книги
В курсе лекций рассматриваются физические процессы, сопровождающие взаимодействие ионных пучков с твердыми телами. Решаются задачи определения пробега ионов в твердых телах и их распределение. Подробно рассматриваются процессы обратного рассеяния ионов, ионной имплантации, распыления твердых тел ионной бомбардировкой. Детально описываются процессы каналирования ионов в монокристаллических твердых телах и использование этого явления для анализа структуры поверхностных слоев монокристаллов.
Тип:PDF Книга
Цена:536.00 руб.
Язык: Русский
Просмотры: 111
Скачать ознакомительный фрагмент
ЧТО КАЧАТЬ и КАК ЧИТАТЬ
КУПИТЬ И СКАЧАТЬ ЗА: 536.00 руб.