Магнетронные распылительные системы. Часть 1. Устройство, принципы работы, применение
Автор:Дмитрий Духопельников
Описание книги
Рассмотрены устройство, принцип работы и основные характеристики магнетронных распылительных систем (МРС). Изложены физические процессы и особенности работы МРС. Перечислены основные типы и конструктивные схемы МРС. Дан пример конструкции МРС с электромагнитной системой. Для студентов старших курсов, обучающихся по специальности «Плазменные энергетические установки», а также для аспирантов и инженеров, занимающихся разработкой и конструированием МРС.
Тип:PDF Книга
Цена:118.00 руб.
Язык: Русский
Просмотры: 171
Скачать ознакомительный фрагмент
ЧТО КАЧАТЬ и КАК ЧИТАТЬ
КУПИТЬ И СКАЧАТЬ ЗА: 118.00 руб.