Технологические процессы в микро- и наноэлектронике
![Юрий Родионов - Технологические процессы в микро- и наноэлектронике -](https://samizdatt.net/uploads/litres/43611576.jpg)
Автор:Юрий Родионов
» Все книги этого автора
Описание книги
Рассмотрены основные положения физики твёрдого тела и физической химии полупроводников. Основное внимание уделено технологии, соответствующему оборудованию и оснастке, используемым для получения технологического слоя. Приводятся конкретные примеры решения обратных задач по определению технологических режимов получения слоёв с заданными параметрами. Освещены регламентные работы в промышленном производстве. Рассмотрены основные экологические проблемы в промышленных технологиях.
Тип:PDF Книга
Цена:910.00 руб.
Язык: Русский
Просмотры: 85
Скачать ознакомительный фрагмент
ЧТО КАЧАТЬ и КАК ЧИТАТЬ
КУПИТЬ И СКАЧАТЬ ЗА: 910.00 руб.