Когда право лукавой ночи, до заката, в могилу канет, в предрассветной, тоскливой корче, оживут и застонут камни. Вид их жалок, убог и мрачен под крупою росистой пудры. Вы не знали, что камни плачут ещё слаще, чем плачет утро, омывая росой обильной ветви, листья, цветы и травы? Камни жаждут, чтоб их любили. Камни тоже имеют право на любовь, на х

Фундаментальные основы процессов химического осаждения пленок и структур для наноэлектроники

$ Бесплатная книга
-
Автор:
Описание книги

В монографии представлены результаты развития процессов химического осаждения из газовой фазы металлических и диэлектрических пленок с использованием нетрадиционных летучих исходных соединений, а именно, комплексных соединений металлов и кремнийорганических соединений, синтезируемых в ИНХ СО РАН и ИрИХ СО РАН. Рассматриваются результаты исследования физико-химических свойств исходных соединений. Изложены принципы выбора исходных соединений, основанные на исследовании их термодинамических свойств и термодинамическом моделировании MO CVD процессов. Получены и исследованы наиболее важные для современной электроники и наноэлектроники материалы: металлические пленки (Cu, Ni, Ru, Ir), диэлектрические пленки с высоким (high-k) и низким (low-k) значением диэлектрической проницаемости. Изучены химический, фазовый состав и структура простых и сложных оксидов на основе HfO (high-k диэлектрики), а также карбонитридов бора, карбонитридов и оксикарбонитридов кремния (low-k диэлектрики).

Цена:780.00 руб.
Язык:   Русский
Просмотры:   176

ЧТО КАЧАТЬ и КАК ЧИТАТЬ
ОТСУТСТВУЕТ В ПРОДАЖЕ
Наш литературный журнал Лучшее место для размещения своих произведений молодыми авторами, поэтами; для реализации своих творческих идей и для того, чтобы ваши произведения стали популярными и читаемыми. Если вы, неизвестный современный поэт или заинтересованный читатель - Вас ждёт наш литературный журнал.